ULVAC愛發(fā)科的多級羅茨型干泵RS系列，憑借其無油清潔、穩(wěn)定可靠及出色的耐腐蝕和粉末處理能力，在多個對真空環(huán)境有苛刻要求的工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。其核心價值在于能為各類制造和科研環(huán)節(jié)提供潔凈、干燥的真空環(huán)境。

?? 半導體與電子器件制造

在半導體和電子器件制造領(lǐng)域，RS系列干泵是刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等關(guān)鍵工藝設(shè)備真空排氣系統(tǒng)的核心部件。這些工藝環(huán)節(jié)常常會用到腐蝕性氣體并可能產(chǎn)生顆粒物，RS系列干泵通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，具備了優(yōu)良的耐腐蝕性，并能實現(xiàn)高性能的粉末排出，從而保障生產(chǎn)過程的連續(xù)穩(wěn)定。

?? 鋰電池制造

在新能源領(lǐng)域，RS系列干泵廣泛應用于鋰電池制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，例如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備和注液設(shè)備。在這些工序中，維持一個潔凈無油的真空環(huán)境至關(guān)重要，可以避免油蒸氣污染電極材料，確保電池產(chǎn)品的安全性和一致性。

?? 真空熱處理

在真空熱處理領(lǐng)域，如燒結(jié)爐、滲碳爐等熱處理設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，也可見到RS系列干泵的身影。它能夠從大氣壓到極限壓力在全壓力區(qū)域連續(xù)穩(wěn)定運行，滿足熱處理工藝各階段對真空度的不同要求。

?? 醫(yī)療與食品設(shè)備

在醫(yī)療和食品行業(yè)，對生產(chǎn)設(shè)備的潔凈度和衛(wèi)生安全要求高。RS系列干泵用于冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等相關(guān)真空排氣系統(tǒng)。其無油操作的特性避免了油污染風險，非常適合于藥品、生物制品和熱敏性食品的干燥與保存。

?? 科研與真空鍍膜

在科學研究及真空鍍膜領(lǐng)域，RS系列干泵同樣表現(xiàn)出色。它能用于濺射、蒸發(fā)等真空設(shè)備，為科研和工業(yè)鍍膜提供潔凈的真空基礎(chǔ)環(huán)境。一些多級羅茨泵也適用于科研、太陽能、鍍膜等行業(yè)，能夠應對包括純凈、粉塵污染、氣體腐蝕等不同負載要求。

?? 技術(shù)優(yōu)勢

RS系列干泵的上述廣泛應用，得益于其多項核心技術(shù)優(yōu)勢：

• 潔凈無油：泵腔內(nèi)不使用真空油進行潤滑，避免了烴類污染，保證了工藝介質(zhì)的純凈。

• 強韌穩(wěn)定：對關(guān)鍵部件進行特殊涂層處理以防腐蝕，并采用獨特設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸實現(xiàn)高性能的排粉，能在苛刻工藝中長時間穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。

• 高效節(jié)能與便捷維護：采用空冷式設(shè)計，無需冷卻水和氮氣，有助于降低運行成本。此外，其消音器組件（如RS-01）可通過卡箍快速連接到泵的排氣口，安裝便捷，并能有效降低運行噪音。